Sulfura heksafluorido estas gaso kun bonegaj izolaj propraĵoj kaj estas ofte uzata en alttensia arko-estingado kaj transformiloj, alttensiaj transmisilinioj, transformiloj, ktp. Tamen, krom ĉi tiuj funkcioj, sulfura heksafluorido ankaŭ povas esti uzata kiel elektronika akvafortilo. .Elektronika grado altpura sulfura heksafluorido estas ideala elektronika akvafortilo, kiu estas vaste uzata en la kampo de mikroelektronika teknologio.Hodiaŭ, Niu Ruide speciala gasa redaktoro Yueyue enkondukos la aplikon de sulfura heksafluorido en silicinitruda akvaforto kaj la influon de malsamaj parametroj.
Ni diskutas la SF6-plasmogravuradon SiNx-procezon, inkluzive de ŝanĝado de la plasmo-potenco, la gasproporcio de SF6/He kaj aldono de la katjona gaso O2, diskutante ĝian influon sur la akvaforta indico de la SiNx-elementa protekta tavolo de TFT, kaj uzado de plasmoradiado. spektrometro analizas la koncentriĝŝanĝojn de ĉiu specio en SF6/He, SF6/He/O2-plasmo kaj la SF6-disigiĝo-rapideco, kaj esploras la rilaton inter la ŝanĝo de SiNx-akvafortofteco kaj la plasmospecia koncentriĝo.
Studoj trovis ke kiam la plasma potenco estas pliigita, la akvaforta indico pliiĝas;se la flukvanto de SF6 en la plasmo estas pliigita, la F-atomokoncentriĝo pliiĝas kaj estas pozitive korelaciita kun la akvafortofteco.Krome, post aldoni la katjonan gason O2 sub la fiksa totala flukvanto, ĝi havos la efikon pliigi la akvafortan indicon, sed sub malsamaj fluaj proporcioj de O2/SF6, estos malsamaj reakciaj mekanismoj, kiuj povas esti dividitaj en tri partojn. : (1) La fluo-proporcio O2/SF6 estas tre malgranda, O2 povas helpi la disociiĝon de SF6, kaj la akvaforta indico en ĉi tiu tempo estas pli granda ol kiam O2 ne estas aldonita.(2) Kiam la fluo-proporcio O2/SF6 estas pli granda ol 0,2 al la intervalo proksimiĝanta al 1, en ĉi tiu tempo, pro la granda kvanto de disociado de SF6 por formi F-atomojn, la akvaforta indico estas la plej alta;sed samtempe, la O-atomoj en la plasmo ankaŭ pliiĝas kaj Estas facile formi SiOx aŭ SiNxO(yx) kun la SiNx-filmsurfaco, kaj ju pli da O-atomoj pliiĝas, des pli malfacilas la F-atomoj estos por la akvaforta reago.Tial, la akvaforta indico komencas malrapidiĝi kiam la O2/SF6-proporcio estas proksima al 1. (3) Kiam la O2/SF6-proporcio estas pli granda ol 1, la akvaforta indico malpliiĝas.Pro la granda pliiĝo en O2, la disigitaj F-atomoj kolizias kun O2 kaj formas OF, kiu reduktas la koncentriĝon de F-atomoj, rezultigante malkreskon en la akvafortofteco.Oni povas vidi el tio, ke kiam O2 estas aldonita, la fluproporcio de O2/SF6 estas inter 0,2 kaj 0,8, kaj la plej bona akvaforta indico povas esti akirita.
Afiŝtempo: Dec-06-2021
