Silano (SiH4)

Teknikaj Parametroj

Silano estas kunmetaĵo de silicio kaj hidrogeno. Ĝi estas ĝenerala esprimo por serio de kunmetaĵoj, inkluzive de monosilano (SiH4), disilano (Si2H6) kaj kelkaj pli altnivelaj silicio-hidrogenaj kunmetaĵoj. Inter ili, monosilano estas la plej ofta, foje referita kiel silano mallonge. Silano estas senkolora gaso kun abomena odoro de ajlo. Solvebla en akvo, preskaŭ nesolvebla en etanolo, etero, benzeno, kloroformo, silicio-kloroformo kaj silicio-tetraklorido. La kemiaj propraĵoj de silanoj estas multe pli aktivaj ol alkanoj kaj facile oksidiĝas. Spontanea brulado povas okazi kiam en kontakto kun aero. Ĝi ne reagas kun nitrogeno sub 25 °C, kaj ne reagas kun hidrokarbonaj kunmetaĵoj ĉe ĉambra temperaturo. Fajro kaj eksplodo de silano estas la rezulto de reago kun oksigeno. Silano estas ekstreme sentema al oksigeno kaj aero. Silano kun certa koncentriĝo ankaŭ reagos eksplodeme kun oksigeno je temperaturo de -180°C. Silano fariĝis la plej grava speciala gaso uzata en duonkonduktaĵaj mikroelektronikaj procezoj, kaj estas uzata en la preparado de diversaj mikroelektronikaj filmoj, inkluzive de unukristalaj filmoj, mikrokristalaj, polikristalaj, siliciooksido, silicio-nitruro kaj metalsilicidoj. La mikroelektronikaj aplikoj de silano daŭre formiĝas en profundo: malalt-temperatura epitaksio, selektema epitaksio, kaj heteroepitaxial epitaksio. Ne nur por siliciaj aparatoj kaj siliciaj integraj cirkvitoj, sed ankaŭ por kunmetitaj duonkonduktaj aparatoj (galio-arsenido, siliciokarbido, ktp.). Ĝi ankaŭ havas aplikojn en la preparado de superkradaj kvantuma putomaterialoj. Oni povas diri, ke silano estas uzata en preskaŭ ĉiuj progresintaj integracirkvitaj produktadlinioj en modernaj tempoj. La apliko de silano kiel silicio-enhava filmo kaj tegaĵo disetendiĝis de la tradicia mikroelektronika industrio al diversaj kampoj kiel ekzemple ŝtalo, maŝinaro, kemiaĵoj kaj optiko. Alia ebla apliko de silano estas la fabrikado de alt-efikecaj ceramikaj motorpartoj, precipe la uzo de silano por fabriki silicidon (Si3N4, SiC, ktp.) mikropulvora teknologio altiris pli kaj pli da atento.

Apliko:

① Elektronika:

Silano estas aplikita al polikristalaj siliciaj tavoloj sur siliciaj oblatoj dum produktado de duonkonduktaĵoj kaj sigelaĵoj.

② Suna:

Silano estas uzata en fabrikado de sunaj fotovoltaecaj moduloj.

③Industria:

Ĝi estas uzata en Energiŝpara Verda Vitro kaj aplikata al vapora deponado de maldika filmo-procezo.

Normala pako:

Avantaĝo:

①Pli ol dek jaroj sur la merkato;

② Fabrikisto de atestilo ISO;

③Rapida livero;

④ Stabila fonto de krudmaterialo;

⑤Enreta analiza sistemo por kvalito-kontrolo en ĉiu paŝo;

⑥Alta postulo kaj skrupula procezo por manipuli cilindron antaŭ plenigo;

⑦Pureco: elektronika grado de alta pureco;

⑧Uzo: materialoj de sunaj ĉeloj; fabrikado de polisilicio de alta pureco, silicio-oksido kaj optika fibro; kolora vitrofabrikado.