Silano (SiH4)

Teknikaj Parametroj

Silano estas kombinaĵo de silicio kaj hidrogeno. Ĝi estas ĝenerala termino por serio da kombinaĵoj, inkluzive de monosilano (SiH4), disilano (Si2H6) kaj kelkaj pli altnivelaj silicio-hidrogenaj kombinaĵoj. Inter ili, monosilano estas la plej ofta, foje mallonge nomata silano. Silano estas senkolora gaso kun abomeninda odoro de ajlo. Solvebla en akvo, preskaŭ nesolvebla en etanolo, etero, benzeno, kloroformo, siliciokloroformo kaj siliciotetraklorido. La kemiaj ecoj de silanoj estas multe pli aktivaj ol alkanoj kaj facile oksidiĝas. Spontanea ekbrulo povas okazi kiam ĝi kontaktas kun aero. Ĝi ne reagas kun nitrogeno sub 25°C, kaj ne reagas kun hidrokarbonaj kombinaĵoj je ĉambra temperaturo. Fajro kaj eksplodo de silano estas la rezulto de reakcio kun oksigeno. Silano estas ekstreme sentema al oksigeno kaj aero. Silano kun certa koncentriĝo ankaŭ reagos eksplode kun oksigeno je temperaturo de -180°C. Silano fariĝis la plej grava speciala gaso uzata en duonkonduktaĵaj mikroelektronikaj procezoj, kaj estas uzata en la preparado de diversaj mikroelektronikaj filmoj, inkluzive de unu-kristalaj filmoj, mikrokristalaj, polikristalaj, siliciaj oksidoj, siliciaj nitridoj kaj metalaj silicidoj. La mikroelektronikaj aplikoj de silano ankoraŭ profunde disvolviĝas: malalt-temperatura epitaksio, selektema epitaksio kaj heteroepitaksa epitaksio. Ĝi ne nur estas uzata por siliciaj aparatoj kaj siliciaj integraj cirkvitoj, sed ankaŭ por kunmetitaj duonkonduktaĵaj aparatoj (galia arsenido, silicia karbido, ktp.). Ĝi ankaŭ havas aplikojn en la preparado de superkradaj kvantumputaj materialoj. Oni povas diri, ke silano estas uzata en preskaŭ ĉiuj progresintaj integracirkvitaj produktadlinioj en modernaj tempoj. La apliko de silano kiel silici-entenanta filmo kaj tegaĵo disetendiĝis de la tradicia mikroelektronika industrio al diversaj kampoj kiel ŝtalo, maŝinaro, kemiaĵoj kaj optiko. Alia ebla apliko de silano estas la fabrikado de alt-efikecaj ceramikaj motorpartoj, precipe la uzo de silano por fabriki silicidan (Si3N4, SiC, ktp.) mikropulvora teknologio altiris pli kaj pli da atento.

Apliko:

①Elektronika:

Silano estas aplikata al polikristalaj siliciaj tavoloj sur siliciaj obleoj dum fabrikado de duonkonduktaĵoj kaj sigelaĵoj.

②Suna:

Silano estas uzata en fabrikado de sunaj fotovoltaecaj moduloj.

③Industria:

Ĝi estas uzata en Energiŝpara Verda Vitro kaj aplikata al vapora deponada maldika filmprocezo.

Normala pakaĵo:

Avantaĝo:

①Pli ol dek jaroj sur la merkato;

② ISO-atestilo-fabrikisto;

③Rapida liverado;

④Stabila krudmateriala fonto;

⑤Interreta analiza sistemo por kvalito-kontrolo en ĉiu paŝo;

⑥Alta postulo kaj zorgema procezo por manipulado de cilindro antaŭ plenigo;

⑦Pureco: altpureca elektronika grado;

⑧Uzado: sunĉelaj materialoj; fabrikado de altpureca polisilicio, silicia oksido kaj optika fibro; fabrikado de kolora vitro.