Silanoestas kombinaĵo de silicio kaj hidrogeno, kaj estas ĝenerala termino por serio de kombinaĵoj. Silano ĉefe inkluzivas monosilanon (SiH4), disilanon (Si2H6) kaj kelkajn pli altnivelajn siliciajn hidrogenajn kombinaĵojn, kun la ĝenerala formulo SinH2n+2. Tamen, en fakta produktado, ni ĝenerale nomas monosilanon (kemia formulo SiH4) "silano".

Elektronika-nivelasilana gasoestas ĉefe akirita per diversaj reakciaj distilado kaj purigo de silicia pulvoro, hidrogeno, silicia tetraklorido, katalizilo, ktp. Silano kun pureco de 3N ĝis 4N nomiĝas industri-grada silano, kaj silano kun pureco de pli ol 6N nomiĝas elektronik-grada silana gaso.

Kiel gasfonto por transporti siliciajn komponantojn,silana gasofariĝis grava speciala gaso, kiun multaj aliaj siliciaj fontoj ne povas anstataŭigi pro sia alta pureco kaj kapablo atingi fajnan kontrolon. Monosilano generas kristalan silicion per piroliza reakcio, kiu nuntempe estas unu el la metodoj por grandskala produktado de grajneca monokristala silicio kaj polikristala silicio en la mondo.

Silanaj karakterizaĵoj

Silano (SiH4)estas senkolora gaso, kiu reagas kun aero kaj kaŭzas sufokiĝon. Ĝia sinonimo estas silicia hidrido. La kemia formulo de silano estas SiH4, kaj ĝia enhavo estas tiel alta kiel 99.99%. Ĉe ĉambra temperaturo kaj premo, silano estas malbonodora toksa gaso. La fandopunkto de silano estas -185℃ kaj la bolpunkto estas -112℃. Ĉe ĉambra temperaturo, silano estas stabila, sed kiam varmigita ĝis 400℃, ĝi tute malkomponiĝas en gasan silicion kaj hidrogenon. Silano estas flamiĝema kaj eksplodema, kaj ĝi brulas eksplode en aero aŭ halogena gaso.

Aplikaj kampoj

Silano havas vastan gamon da uzoj. Krom esti la plej efika maniero por alkroĉi siliciajn molekulojn al la surfaco de la ĉelo dum la produktado de sunĉeloj, ĝi ankaŭ estas vaste uzata en fabrikoj kiel ekzemple por duonkonduktaĵoj, plataj ekranoj kaj tegitaj vitroj.

Silanoestas la silicia fonto por kemiaj vaporaj deponadprocezoj kiel ekzemple unukristala silicio, polikristalaj siliciaj epitaksiaj oblatoj, silicia dioksido, silicia nitrido kaj fosfosilikata vitro en la semikonduktaĵa industrio, kaj estas vaste uzata en la produktado kaj disvolviĝo de sunĉeloj, siliciaj kopiiltamburoj, fotoelektraj sensiloj, optikaj fibroj kaj speciala vitro.

En la lastaj jaroj, altteknologiaj aplikoj de silanoj ankoraŭ aperas, inkluzive de la fabrikado de progresintaj ceramikaĵoj, kompozitaj materialoj, funkciaj materialoj, biomaterialoj, alt-energiaj materialoj, ktp., fariĝante la bazo de multaj novaj teknologioj, novaj materialoj kaj novaj aparatoj.