Kio estasKarbona tetrafluorido? Kio utilas?
Karbona tetrafluorido, ankaŭ konata kiel tetrafluorometan, estas konsiderata kiel neorganika komponaĵo. Ĝi estas uzata en la plasma akva procezo de diversaj integritaj cirkvitoj, kaj uzata ankaŭ kiel lasera gaso kaj refrigeranto. Ĝi estas relative stabila sub normala temperaturo kaj premo, sed necesas eviti kontakton kun fortaj oksidantoj, bruligeblaj aŭ bruligaj materialoj. Karbona tetrafluorido estas ne-kombuzebla gaso. Se ĝi renkontas altan varmon, ĝi kaŭzos la internan premon de la ujo pliiĝi, kaj ekzistas danĝero de fendado kaj eksplodo. Kutime ĝi nur povas interagi kun likva amonia-natria metala reagento ĉe ĉambra temperaturo.
Karbona tetrafluoridoestas nuntempe la plej granda plasma akva gaso uzata en la mikroelektronika industrio. Ĝi povas esti vaste uzata en la gravuraĵo de silicio, silicia dioksido, fosfosilikata vitro kaj aliaj maldikaj filmaj materialoj, purigado de la surfaco de elektronikaj aparatoj, produktado de sunaj ĉeloj, lasera teknologio, gas-fazaj izolaj, malalt-temperatur-fridigo, detekto de liko de aperoj.
Afiŝotempo: Nov-01-2021
