ElektronikaSpecialaj gasojestas grava branĉo de specialaj gasoj. Ili penetras preskaŭ ĉiun ligon de duonkondukta produktado kaj estas nemalhaveblaj krudmaterialoj por produktado de elektronikaj industrioj kiel ultra-grandskalaj integraj cirkvitoj, plataj panelaj ekranaj aparatoj kaj sunaj ĉeloj.

En duonkondukta teknologio, fluoro-enhavaj gasoj estas vaste uzataj. Nuntempe en la tutmonda elektronika gasa merkato, fluoro-enhavantaj elektronikaj gasoj respondecas pri ĉirkaŭ 30% de la totalo. Fluoro-enhavantaj elektronikaj gasoj estas grava ero de specialaj elektronikaj gasoj en la kampo de elektronikaj informmaterialoj. Ili estas ĉefe uzataj kiel purigaj agentoj kaj gravuraĵoj, kaj ankaŭ povas esti uzataj kiel dopantoj, film-formantaj materialoj, ktp. En ĉi tiu artikolo, la aŭtoro prenos vin por kompreni la komunajn fluorajn gasojn.

La jenaj estas ofte uzataj fluoro-enhavantaj gasoj

Nitrogen -trifluorido (NF3): gaso uzata por purigado kaj forigo de kuŝejoj, kutime uzataj por purigado de reagaj ĉambroj kaj ekipaĵoj.

Sulfura Hexafluorido (SF6): Fluorina agento uzata en procezoj de deponejo de rusto kaj kiel izolanta gaso por plenigi izolajn rimedojn.

Hidrogena fluorido (HF): Uzita por forigi oksidojn el la silicia surfaco kaj kiel gravuraĵo por gravuri silikon kaj aliajn materialojn.

Nitrogenfluo (NF): Uzita por gravuri materialojn kiel silicio -nitrido (SIN) kaj aluminia nitrido (ALN).

Trifluorometan (CHF3) kajTetrafluorometan (CF4): Uzita por gravuri fluoridajn materialojn kiel silicia fluorido kaj aluminia fluorido.

Tamen, fluoro-enhavaj gasoj havas certajn danĝerojn, inkluzive de tokseco, korodemo kaj flamiĝemo.

Tokseco

Iuj gasoj enhavantaj fluoron estas toksaj, kiel hidrogena fluorido (HF), kies vaporo tre koleras al la haŭto kaj spira vojo kaj malutila al homa sano.

Korodemo

Hidrogena fluorido kaj iuj fluoridoj estas tre korodaj kaj povas kaŭzi gravan damaĝon al la haŭto, okuloj kaj spira vojo.

Flammabileco

Iuj fluoridoj estas brulemaj kaj reagas kun oksigeno aŭ akvo en la aero por liberigi intensan varmon kaj toksajn gasojn, kiuj povas kaŭzi fajron aŭ eksplodon.

Altprema danĝero

Iuj fluoritaj gasoj estas eksplodemaj sub alta premo kaj postulas specialan zorgadon kiam uzite kaj konservite.

Efiko sur la medio

Fluoro-enhavaj gasoj havas altajn atmosferajn vivdaŭrojn kaj GWP-valorojn, kiuj havas detruan efikon sur la atmosfera ozono-tavolo kaj povas kaŭzi tutmondan varmiĝon kaj median poluadon.

La apliko de gasoj en emerĝaj kampoj kiel elektroniko daŭre profundiĝas, alportante grandan kvanton da nova postulo pri industriaj gasoj. Surbaze de la granda kvanto de nova produktokapacito de ĉefaj elektronikaj komponentoj kiel semikonduktaĵoj kaj ekranaj paneloj en kontinenta Ĉinio en la sekvaj jaroj, kaj ankaŭ la forta postulo pri importa anstataŭigo de elektronikaj kemiaj materialoj, la enlanda elektronika gasindustrio enspezos altan kreskon.