Elektronikaspecialaj gasojestas grava branĉo de specialaj gasoj. Ili penetras preskaŭ ĉiun ĉenon de duonkonduktaĵa produktado kaj estas nemalhaveblaj krudmaterialoj por la produktado de elektronikaj industrioj kiel ekzemple ultragrandskalaj integraj cirkvitoj, plataj ekranaj aparatoj kaj sunĉeloj.

En duonkondukta teknologio, fluoro-entenantaj gasoj estas vaste uzataj. Nuntempe, en la tutmonda merkato de elektronikaj gasoj, fluoro-entenantaj elektronikaj gasoj konsistigas ĉirkaŭ 30% de la tuto. Fluoro-entenantaj elektronikaj gasoj estas grava komponanto de specialaj elektronikaj gasoj en la kampo de elektronikaj informaj materialoj. Ili estas ĉefe uzataj kiel purigiloj kaj gratigiloj, kaj ankaŭ povas esti uzataj kiel dopantoj, filmo-formaj materialoj, ktp. En ĉi tiu artikolo, la aŭtoro gvidos vin al kompreno pri la komunaj fluoro-entenantaj gasoj.

La jenaj estas ofte uzataj fluoro-entenantaj gasoj

Nitrogena trifluorido (NF3): Gaso uzata por purigi kaj forigi deponejojn, kutime uzata por purigi reakciajn ĉambrojn kaj ekipaĵajn surfacojn.

Sulfura heksafluorido (SF6)Fluoriga agento uzata en oksidaj deponadprocezoj kaj kiel izola gaso por plenigi izolajn mediojn.

Hidrogena fluorido (HF): Uzata por forigi oksidojn de la silicia surfaco kaj kiel gravurilo por grati silicion kaj aliajn materialojn.

Nitrogena fluorido (NF): Uzata por grati materialojn kiel silicia nitrido (SiN) kaj aluminio nitrido (AlN).

Trifluorometano (CHF3) kajtetrafluorometano (CF4)Uzata por grati fluoridajn materialojn kiel silician fluoridon kaj aluminian fluoridon.

Tamen, fluoro-entenantaj gasoj havas certajn danĝerojn, inkluzive de tokseco, korodeco kaj flamiĝemo.

Tokseco

Iuj fluoro-entenantaj gasoj estas toksaj, kiel ekzemple hidrogena fluorido (HF), kies vaporo estas tre irita al la haŭto kaj spirvojo kaj damaĝa al homa sano.

Korodeco

Hidrogena fluorido kaj iuj fluoridoj estas tre korodaj kaj povas kaŭzi gravajn damaĝojn al la haŭto, okuloj kaj spirvojo.

Flamiĝemo

Iuj fluoridoj estas flamiĝemaj kaj reagas kun oksigeno aŭ akvo en la aero por liberigi intensan varmon kaj toksajn gasojn, kiuj povas kaŭzi fajron aŭ eksplodon.

Altprema danĝero

Iuj fluorinitaj gasoj estas eksplodemaj sub alta premo kaj postulas specialan zorgon dum uzo kaj stokado.

Efiko sur la medion

Fluoro-entenantaj gasoj havas altajn atmosferajn vivdaŭrojn kaj GWP-valorojn, kiuj havas detruan efikon sur la atmosferan ozontavolon kaj povas kaŭzi mondvarmiĝon kaj median poluadon.

La apliko de gasoj en emerĝantaj kampoj kiel elektroniko daŭre profundiĝas, alportante grandan kvanton da nova postulo je industriaj gasoj. Surbaze de la granda kvanto da nova produktokapacito de gravaj elektronikaj komponantoj kiel duonkonduktaĵoj kaj ekranpaneloj en kontinenta Ĉinio en la venontaj kelkaj jaroj, kaj ankaŭ la forta postulo je importa anstataŭigo de elektronikaj kemiaj materialoj, la enlanda elektronika gasindustrio enkondukos altan kreskorapidecon.