Elektronikaspecialaj gasojestas grava branĉo de specialaj gasoj. Ili penetras preskaŭ ĉiun ligon de semikonduktaĵproduktado kaj estas nemalhaveblaj krudmaterialoj por la produktado de elektronikaj industrioj kiel ultragrandskalaj integraj cirkvitoj, platpanelaj ekranaj aparatoj kaj sunĉeloj.

En duonkondukta teknologio, fluor-enhavantaj gasoj estas vaste uzataj. Nuntempe, en la tutmonda elektronika gasmerkato, fluor-enhavantaj elektronikaj gasoj okupas ĉirkaŭ 30% de la totalo. Fluoro-enhavantaj elektronikaj gasoj estas grava komponento de specialaj elektronikaj gasoj en la kampo de elektronikaj informmaterialoj. Ili estas ĉefe uzataj kiel purigaj agentoj kaj akvafortaj agentoj, kaj ankaŭ povas esti uzataj kiel dopantoj, filmoformaj materialoj, ktp. En ĉi tiu artikolo, la aŭtoro kondukos vin por kompreni la komunajn fluor-enhavantajn gasojn.

La sekvantaroj estas ofte uzataj fluor-enhavantaj gasoj

Nitrogena trifluorido (NF3): Gaso uzata por purigado kaj forigo de kuŝejoj, kutime uzata por purigado de reakciaj ĉambroj kaj ekipaĵsurfacoj.

Sulfura heksafluorido (SF6): Fluorina agento uzata en procezoj de deponado de oksidoj kaj kiel izola gaso por plenigi izolajn mediojn.

Hidrogena fluorido (HF): Uzita por forigi oksidojn de la silicia surfaco kaj kiel akvafortilo por akvaforti silicion kaj aliajn materialojn.

Nitrogena fluorido (NF): Uzita por gravuri materialojn kiel silicionitruro (SiN) kaj aluminionitruro (AlN).

Trifluorometano (CHF3) kajtetrafluorometano (CF4): Uzita por gravuri fluoridajn materialojn kiel silicio-fluorido kaj aluminio-fluorido.

Tamen, fluor-enhavantaj gasoj havas certajn danĝerojn, inkluzive de tokseco, korodeco kaj flamiĝemo.

Tokseco

Iuj fluor-enhavantaj gasoj estas toksaj, kiel hidrogena fluorido (HF), kies vaporo estas tre irritanta al la haŭto kaj spira vojo kaj malutila al la homa sano.

Kordeco

Hidrogena fluorido kaj iuj fluoridoj estas tre korodaj kaj povas kaŭzi gravan damaĝon al la haŭto, okuloj kaj spira vojo.

Flameblo

Kelkaj fluoridoj estas brulemaj kaj reagas kun oksigeno aŭ akvo en la aero por liberigi intensan varmon kaj toksajn gasojn, kiuj povas kaŭzi fajron aŭ eksplodon.

Danĝero de alta premo

Kelkaj fluorigitaj gasoj estas eksplodemaj sub alta premo kaj postulas specialan zorgon kiam uzataj kaj stokitaj.

Efiko sur la medio

Fluor-enhavantaj gasoj havas altajn atmosferajn vivdaŭrojn kaj GWP-valorojn, kiuj havas detruan efikon al la atmosfera ozontavolo kaj povas kaŭzi mondvarmiĝon kaj median poluon.

La apliko de gasoj en emerĝantaj kampoj kiel ekzemple elektroniko daŭre profundiĝas, alportante grandan kvanton de nova postulo je industriaj gasoj. Surbaze de la granda kvanto de nova produktadkapablo de ĉefaj elektronikaj komponantoj kiel duonkonduktaĵoj kaj ekranaj paneloj en la kontinenta Ĉinio en la venontaj kelkaj jaroj, kaj ankaŭ de la forta postulo pri import-anstataŭigo de elektronikaj kemiaj materialoj, enkondukos la hejma elektronika gasindustrio. alta kreskorapideco.