Volframa heksafluorido (WF6) estas deponita sur la surfaco de la oblato per CVD-procezo, plenigante la metalajn interkonektajn tranĉeojn, kaj formante la metalan interkonektadon inter tavoloj.
Ni unue parolu pri plasmo. Plasmo estas formo de materio ĉefe konsistanta el liberaj elektronoj kaj ŝargitaj jonoj. Ĝi ekzistas vaste en la universo kaj ofte estas konsiderata kiel la kvara stato de materio. Ĝi nomiĝas la plasma stato, ankaŭ nomata "Plasmo". Plasmo havas altan elektran konduktivecon kaj fortan kupligan efikon kun elektromagneta kampo. Ĝi estas parte jonigita gaso, konsistanta el elektronoj, jonoj, liberaj radikaluloj, neŭtralaj partikloj kaj fotonoj. La plasmo mem estas elektre neŭtrala miksaĵo enhavanta fizike kaj kemie aktivajn partiklojn.
La simpla klarigo estas, ke sub la ago de alta energio, la molekulo superas la forton de van der Waals, la kemian ligforton kaj la kulomban forton, kaj prezentas formon de neŭtrala elektro entute. Samtempe, la alta energio donita de la ekstero superas la supre menciitajn tri fortojn. Funkcie, elektronoj kaj jonoj prezentas liberan staton, kiu povas esti artefarite uzata sub la modulado de magneta kampo, kiel ekzemple duonkonduktaĵaj gravuraj procezoj, CVD-procezoj, PVD kaj IMP-procezoj.
Kio estas alta energio? Teorie, oni povas uzi kaj alttemperaturan kaj altfrekvencan RF-on. Ĝenerale parolante, altan temperaturon estas preskaŭ neeble atingi. Ĉi tiu temperaturpostulo estas tro alta kaj eble proksima al la suna temperaturo. Ĝi estas baze neeble atingebla en la procezo. Tial, la industrio kutime uzas altfrekvencan RF-on por atingi ĝin. Plasma RF povas atingi ĝis 13MHz+.
Volframa heksafluorido estas plasmigita sub la ago de elektra kampo, kaj poste vaporigita per magneta kampo. W-atomoj similas al vintraj anseraj plumoj kaj falas sur la teron sub la ago de gravito. Malrapide, W-atomoj estas deponitaj en la tratruojn, kaj fine plenigitaj per tratruoj por formi metalajn interkonektojn. Krom deponi W-atomojn en la tratruojn, ĉu ili ankaŭ estos deponitaj sur la surfaco de la oblato? Jes, certe. Ĝenerale parolante, oni povas uzi la W-CMP-procezon, kiun ni nomas la mekanika muelada procezo por forigi. Ĝi similas al uzado de balailo por balai la plankon post peza neĝo. La neĝo sur la tero estas forbalaita, sed la neĝo en la truo sur la tero restos. Malsupre, preskaŭ same.
Afiŝtempo: 24-a de decembro 2021
