Volframheksafluorido (WF6) estas deponita sur la surfaco de la oblato tra CVD-procezo, plenigante la metalinterligtranĉeojn, kaj formante la metalinterkonekton inter tavoloj.
Unue ni parolu pri plasmo. Plasmo estas formo de materio ĉefe kunmetita de liberaj elektronoj kaj ŝarĝitaj jonoj. Ĝi ekzistas vaste en la universo kaj ofte estas rigardata kiel la kvara stato de materio. Ĝi estas nomita la plasmoŝtato, ankaŭ nomita "Plasmo". Plasmo havas altan elektran konduktivecon kaj havas fortan kunligan efikon kun elektromagneta kampo. Ĝi estas parte jonigita gaso, kunmetita de elektronoj, jonoj, liberaj radikaluloj, neŭtralaj partikloj kaj fotonoj. La plasmo mem estas elektre neŭtrala miksaĵo enhavanta fizike kaj kemie aktivajn partiklojn.
La simpla klarigo estas ke sub la ago de alta energio, la molekulo venkos la van der Waals-forton, kemian ligan forton kaj Kulomban forton, kaj prezentos formon de neŭtrala elektro kiel tutaĵo. Samtempe, la alta energio donita de la ekstero venkas la suprajn tri fortojn. Funkcio, elektronoj kaj jonoj prezentas liberan staton, kiu povas esti artefarite uzata sub la modulado de magneta kampo, kiel semikonduktaĵa akvaforta procezo, CVD-procezo, PVD kaj IMP-procezo.
Kio estas alta energio? En teorio, ambaŭ alta temperaturo kaj altfrekvenca RF povas esti uzataj. Ĝenerale, alta temperaturo estas preskaŭ neeble atingi. Ĉi tiu temperaturpostulo estas tro alta kaj povas esti proksima al la temperaturo de la suno. Ĝi estas esence neeble atingi en la procezo. Tial, la industrio kutime uzas altfrekvencan RF por atingi ĝin. Plasma RF povas atingi ĝis 13MHz+.
Volframheksafluorido estas plasmigita sub la ago de elektra kampo, kaj tiam vapor-deponita per magneta kampo. W-atomoj estas similaj al vintra anseroplumoj kaj falas al la grundo sub la ago de gravito. Malrapide, W-atomoj estas deponitaj en la tratruojn, kaj finfine plenigitaj Plenaj tratruoj por formi metalinterligojn. Krom deponado de W-atomoj en la tratruoj, ĉu ili ankaŭ estos deponitaj sur la surfaco de la Oblato? Jes, certe. Ĝenerale, vi povas uzi la procezon W-CMP, kion ni nomas la mekanika muelanta procezo por forigi. Ĝi similas al uzado de balailo por balai la plankon post peza neĝo. La neĝo sur la tero estas forbalaita, sed la neĝo en la truo sur la tero restos. Malsupre, proksimume la sama.
Afiŝtempo: Dec-24-2021
