Tungstena hexafluorido (WF6) estas deponita sur la surfacon de la ondeto per CVD -procezo, plenigante la metalajn interkonektajn tranĉeojn kaj formante la metalan interkonekton inter tavoloj.
Ni unue parolu pri plasmo. Plasmo estas formo de materio ĉefe kunmetita de senpagaj elektronoj kaj ŝarĝitaj jonoj. Ĝi ekzistas vaste en la universo kaj ofte estas konsiderata kiel la kvara stato de materio. Ĝi estas nomata plasma stato, ankaŭ nomata "plasmo". Plasmo havas altan elektran konduktivecon kaj havas fortan kuplan efikon kun elektromagneta kampo. Ĝi estas parte ionizita gaso, kunmetita de elektronoj, jonoj, liberaj radikaloj, neŭtralaj eroj kaj fotonoj. La plasmo mem estas elektre neŭtrala miksaĵo enhavanta fizike kaj kemie aktivajn erojn.
La rekta klarigo estas, ke sub la agado de alta energio, la molekulo venkos la forton de van der Waals, kemia liga forto kaj Coulomb -forto, kaj prezentos formon de neŭtrala elektro entute. Samtempe, la alta energio donita de la ekstero venkas la suprajn tri fortojn. Funkcio, elektronoj kaj jonoj prezentas liberan staton, kiu povas esti artefarite uzata sub la modulado de magneta kampo, kiel semikonduktaĵa akva procezo, CVD -procezo, PVD kaj IMP -procezo.
Kio estas alta energio? Teorie, ambaŭ alta temperaturo kaj alta frekvenca RF povas esti uzataj. Ĝenerale, alta temperaturo estas preskaŭ neeble atingebla. Ĉi tiu temperatura postulo estas tro alta kaj eble estas proksima al la suno -temperaturo. Estas esence neeble atingi en la procezo. Tial la industrio kutime uzas altfrekvencan RF por atingi ĝin. Plasma RF povas atingi tiel alte kiel 13MHz+.
Tungstena hexafluorido estas plasmigita sub la ago de elektra kampo, kaj tiam vaporo-deponita de magneta kampo. W atomoj similas al vintraj anseraj plumoj kaj falas sur la teron sub la agado de gravito. Malrapide, W -atomoj estas deponitaj en la tra truojn, kaj fine plenigitaj tra truoj por formi metalajn interkonektojn. Krom deponi W -atomojn en la tra truoj, ĉu ili ankaŭ estos deponitaj sur la surfacon de la vakso? Jes, certe. Ĝenerale, vi povas uzi la procezon W-CMP, kion ni nomas la mekanika muelanta procezo por forigi. Ĝi similas al uzado de balailo por balai la plankon post peza neĝo. La neĝo sur la tero estas balaita, sed la neĝo en la truo sur la tero restos. Malsupren, proksimume la sama.
Afiŝotempo: Dec-24-2021
