Komuna fluoro-enhavanta specialajn elektronikajn gasojn inkluzivasSulfura Hexafluorido (SF6), Tungsten Hexafluoride (WF6),Karbona tetrafluorido (CF4), trifluorometano (CHF3), nitrogeno trifluorido (NF3), hexafluoroetano (C2F6) kaj oktafluoropropano (C3F8).
Kun la disvolviĝo de nanoteknologio kaj la grandskala disvolviĝo de la elektronika industrio, ĝia postulo pliiĝos tagon post tago. Nitrogen-trifluorido, kiel nemalhavebla kaj plej uzata speciala elektronika gaso en la produktado kaj prilaborado de paneloj kaj duonkonduktaĵoj, havas larĝan merkatan spacon.
Kiel speco de speciala gaso enhavanta fluoron,nitrogen -trifluorido (NF3)estas la elektronika speciala gasa produkto kun la plej granda merkata kapablo. Ĝi estas kemie inerta ĉe ĉambra temperaturo, pli aktiva ol oksigeno ĉe alta temperaturo, pli stabila ol fluoro, kaj facile traktebla. Nitrogeno -trifluorido estas uzata ĉefe kiel plasma akva gaso kaj reaga ĉambra puriga agento, kaj taŭgas por la fabrikaj kampoj de duonkonduktaĵoj, plataj panelaj ekranoj, optikaj fibroj, fotovoltaaj ĉeloj, ktp.
Kompare kun aliaj fluoro-enhavantaj elektronikaj gasoj,nitrogen -trifluoridohavas la avantaĝojn de rapida reago kaj alta efikeco. Precipe en la gravuraĵo de silicio-enhavaj materialoj kiel silicia nitrido, ĝi havas altan gravan ritmon kaj selektivecon, lasante neniun restaĵon sur la surfaco de la gravurita objekto. Ĝi ankaŭ estas tre bona puriga agento kaj ne havas poluadon al la surfaco, kiu povas plenumi la bezonojn de la pretiga procezo.
Afiŝotempo: Sep-14-2024
