En la fabrikada procezo de duonkonduktaĵaj blatoj-fandejoj kun relative progresintaj produktadprocezoj, preskaŭ 50 malsamaj specoj de gasoj estas bezonataj. Gasoj estas ĝenerale dividitaj en grocajn gasojn kajspecialaj gasoj.

Apliko de gasoj en mikroelektroniko kaj duonkonduktaĵa industrio La uzo de gasoj ĉiam ludis gravan rolon en duonkonduktaĵaj procezoj, precipe duonkonduktaĵaj procezoj estas vaste uzataj en diversaj industrioj. De ULSI, TFT-LCD ĝis la nuna mikro-elektromekanika (MEMS) industrio, duonkonduktaĵaj procezoj estas uzataj kiel produktaj fabrikadaj procezoj, inkluzive de seka gravurado, oksidado, jona implantado, maldika filmdemetado, ktp.

Ekzemple, multaj homoj scias, ke ĉipoj estas faritaj el sablo, sed rigardante la tutan procezon de ĉipofabrikado, pli da materialoj estas bezonataj, kiel ekzemple fotorezisto, polurlikvaĵo, celmaterialo, speciala gaso, ktp. estas nemalhaveblaj. La malantaŭa enpakado ankaŭ postulas substratojn, intermetantojn, plumbajn kadrojn, ligmaterialojn, ktp. el diversaj materialoj. Elektronikaj specialaj gasoj estas la dua plej granda materialo en duonkonduktaĵaj fabrikadkostoj post siliciaj platetoj, sekvataj de maskoj kaj fotorezistoj.

La pureco de gaso havas decidan influon sur la funkciadon de komponantoj kaj la rendimenton de la produkto, kaj la sekureco de la gasprovizado rilatas al la sano de la personaro kaj la sekureco de la fabrika operacio. Kial la pureco de gaso havas tian grandan efikon sur la procezolinion kaj la personaron? Ĉi tio ne estas troigo, sed estas determinita de la danĝeraj karakterizaĵoj de la gaso mem.

Klasifiko de komunaj gasoj en la semikonduktaĵa industrio

Ordinara Gaso

Ordinara gaso ankaŭ nomiĝas groca gaso: ĝi rilatas al industria gaso kun purecpostulo malpli ol 5N kaj granda produktado kaj vendokvanto. Ĝi povas esti dividita en aerajn apartiggasojn kaj sintezajn gasojn laŭ malsamaj preparmetodoj. Hidrogeno (H2), nitrogeno (N2), oksigeno (O2), argono (A2), ktp.;

Speciala Gaso

Speciala gaso rilatas al industria gaso, kiu estas uzata en specifaj kampoj kaj havas specialajn postulojn pri pureco, diverseco kaj ecoj. ĈefeSiH4, PH3, B2H6, A8H3,HCL, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6... kaj tiel plu.

Tipoj de specialaj gasoj

Tipoj de specialaj gasoj: korodaj, toksaj, brulemaj, brulig-subtenaj, inertaj, ktp.
Ofte uzataj duonkonduktaĵaj gasoj estas klasifikitaj jene:
(i) Koroda/toksa:HClBF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2,BCl3…
(ii) Flamebla: H2,CH4、SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO...
(iii) Brulemaj: O2、Cl2、N2O、NF3…
(iv) Inerta: N2,CF4C2F6C4F8、SF6CO2Ne、KrLi…

En la procezo de fabrikado de duonkonduktaĵaj blatoj, ĉirkaŭ 50 malsamaj specoj de specialaj gasoj (nomataj specialaj gasoj) estas uzataj en oksidado, difuzo, deponado, gravurado, injektado, fotolitografio kaj aliaj procezoj, kaj la tuta nombro de procezpaŝoj superas centojn. Ekzemple, PH3 kaj AsH3 estas uzataj kiel fosforo- kaj arseno-fontoj en la jona implantada procezo, F-bazitaj gasoj CF4, CHF3, SF6 kaj halogenaj gasoj CI2, BCI3, HBr estas ofte uzataj en la gravura procezo, SiH4, NH3, N2O en la depona filmprocezo, F2/Kr/Ne, Kr/Ne en la fotolitografia procezo.

El la supre menciitaj aspektoj, ni povas kompreni, ke multaj duonkonduktaĵaj gasoj estas damaĝaj al la homa korpo. Aparte, iuj el la gasoj, kiel ekzemple SiH4, estas mem-ekbrulantaj. Dum ili likas, ili reagos perforte kun oksigeno en la aero kaj komencos bruli; kaj AsH3 estas tre toksa. Ĉiu eta liko povas kaŭzi damaĝon al la vivoj de homoj, do la postuloj por la sekureco de la kontrolsistemo por la uzo de specialaj gasoj estas aparte altaj.

Duonkonduktaĵoj postulas, ke altpurecaj gasoj havu "tri gradojn"

Pureco de gaso

La enhavo de malpuraĵa atmosfero en la gaso estas kutime esprimita kiel procento de la gaspureco, ekzemple 99.9999%. Ĝenerale parolante, la pureca postulo por elektronikaj specialaj gasoj atingas 5N-6N, kaj estas ankaŭ esprimita per la volumena proporcio de la enhavo de malpuraĵa atmosfero ppm (parto por miliono), ppb (parto por miliardo), kaj ppt (parto por triliono). La kampo de elektronikaj duonkonduktaĵoj havas la plej altajn postulojn por la pureco kaj kvalita stabileco de specialaj gasoj, kaj la pureco de elektronikaj specialaj gasoj estas ĝenerale pli granda ol 6N.

Sekeco

La enhavo de spura akvo en la gaso, aŭ malsekeco, estas kutime esprimita per rosopunkto, kiel ekzemple atmosfera rosopunkto -70℃.

Pureco

La nombro de poluaĵaj partikloj en la gaso, partikloj kun partikla grandeco de µm, estas esprimita per kiom da partikloj/M³. Por premaero, ĝi kutime estas esprimita en mg/m³ da neeviteblaj solidaj restaĵoj, kiu inkluzivas la oleenhavon.