En la fabrikada procezo de semikonduktaĵaj akvobaraĵoj kun relative progresintaj produktadaj procezoj, preskaŭ 50 malsamaj specoj de gasoj bezonas. Gasoj estas ĝenerale dividitaj en pograndajn gasojn kajSpecialaj gasoj.

Apliko de gasoj en mikroelektronikaj kaj semikonduktaĵaj industrioj La uzo de gasoj ĉiam ludis gravan rolon en semikonduktaĵaj procezoj, precipe semikonduktaĵaj procezoj estas vaste uzataj en diversaj industrioj. De ULSI, TFT-LCD ĝis la aktuala mikro-elektromekanika (MEMS) industrio, semikonduktaĵaj procezoj estas uzataj kiel produktaj fabrikadaj procezoj, inkluzive de seka gravuraĵo, oksidado, jona enplantado, maldika filmo-deponejo, ktp.

Ekzemple, multaj homoj scias, ke blatoj estas faritaj el sablo, sed rigardante la tutan procezon de fabrikado de ĉifonoj, necesas pli da materialoj, kiel fotorezisto, polura likvaĵo, cela materialo, speciala gaso, ktp. Malantaŭa pakaĵo ankaŭ postulas substratojn, intermetilojn, plumajn kadrojn, ligajn materialojn, ktp. De diversaj materialoj. Elektronikaj specialaj gasoj estas la dua plej granda materialo en semikonduktaĵaj fabrikaj kostoj post siliciaj vafoj, sekvitaj de maskoj kaj fotorezistoj.

La pureco de gaso havas decidan influon sur komponentan rendimenton kaj produktan rendimenton, kaj la sekureco de gasoprovizo rilatas al la sano de dungitaro kaj sekureco de fabrika operacio. Kial la pureco de gaso havas tiel grandan efikon sur la proceza linio kaj dungitaro? Ĉi tio ne estas troigo, sed estas determinita de la danĝeraj trajtoj de la gaso mem.

Klasifiko de komunaj gasoj en la duonkondukta industrio

Ordinara gaso

Ordinara gaso ankaŭ nomiĝas pogranda gaso: ĝi rilatas al industria gaso kun pureca postulo malpli ol 5N kaj granda produktado kaj venda volumo. Ĝi povas esti dividita en aeran apartigan gason kaj sintezan gason laŭ malsamaj preparaj metodoj. Hidrogeno (H2), nitrogeno (N2), oksigeno (O2), argono (A2), ktp;

Speciala gaso

Speciala gaso rilatas al industria gaso uzata en specifaj kampoj kaj havas specialajn postulojn por pureco, vario kaj bienoj. ĈefeSIH4, Ph3, b2h6, a8h3,HCl, Cf4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, Bcl3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6... kaj tiel plu.

Specoj de spicaj gasoj

Specoj de Specialaj Gasoj: Koroda, Toksa, Flamiga, Brulado-Subtenado, Inerto, ktp.
Ofte uzataj duonkonduktaĵaj gasoj estas klasifikitaj jene:
(i) Koroda/Toksa:HCl、 BF3 、 WF6 、 HBR 、 SIH2CL2 、 NH3 、 PH3 、 CL2 、Bcl3...
(ii) Flammable: H2 、CH4、SIH4、 Ph3 、 Ash3 、 SiH2Cl2 、 B2H6 、 CH2F2 、 CH3F 、 CO ...
(iii) Brulaĵo: O2 、 CL2 、 N2O 、 NF3 ...
(iv) inerto: n2 、CF4、 C2F6 、C4F8、SF6、 CO2 、Ne、Kr、 Li ...

En la procezo de fabrikado de duonkonduktaĵoj, ĉirkaŭ 50 diversaj specoj de specialaj gasoj (nomataj specialaj gasoj) estas uzataj en oksidado, disvastigo, deponejo, gravuraĵo, injekto, fotolitografio kaj aliaj procezoj, kaj la totalaj procezaj paŝoj superas centojn. Ekzemple, PH3 kaj ASH3 estas uzataj kiel fosforaj kaj arsenikaj fontoj en la jona enplantaĵprocezo, F-bazitaj gasoj CF4, CHF3, SF6 kaj halogenaj gasoj CI2, BCI3, HBR estas ofte uzataj en la proceso de la antaŭproceso, NH3, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2.

El ĉi -supraj aspektoj, ni povas kompreni, ke multaj duonkonduktaĵaj gasoj malutilas al la homa korpo. Precipe, iuj el la gasoj, kiel SIH4, estas mem-ŝaltitaj. Tiel longe kiel ili filtros, ili reagos perforte kun oksigeno en la aero kaj komencos bruli; Kaj Ash3 estas tre toksa. Ajna malgrava fugaĵo povas kaŭzi damaĝon al la vivo de homoj, do la postuloj por la sekureco de la kontrolsistemo por la uzo de specialaj gasoj estas aparte altaj.

Semikonduktaĵoj postulas altajn purecajn gasojn havi "tri gradojn"

Gasa pureco

La enhavo de malpura atmosfero en la gaso estas kutime esprimita kiel procento de gasa pureco, kiel 99.9999%. Ĝenerale, la pureca postulo por elektronikaj specialaj gasoj atingas 5N-6N, kaj ankaŭ estas esprimita per la volumena rilatumo de malpura atmosfera enhavo PPM (parto po miliono), PPB (parto po miliardo), kaj PPT (parto po triliono). La elektronika semikonduktaĵkampo havas la plej altajn postulojn por la pureco kaj kvalita stabileco de specialaj gasoj, kaj la pureco de elektronikaj specialaj gasoj estas ĝenerale pli granda ol 6N.

Sekeco

La enhavo de spura akvo en la gaso, aŭ malsekeco, estas kutime esprimita en ruba punkto, kiel atmosfera roso -punkto -70 ℃.

Pureco

La nombro de poluaj eroj en la gaso, eroj kun partikla grandeco de µm, estas esprimita en kiom da eroj/m3. Por kunpremita aero, ĝi estas kutime esprimita en mg/m3 de nepravigeblaj solidaj restaĵoj, kiu inkluzivas oleo -enhavon.