En la produktadprocezo de semikonduktaĵaj oblaĵfarejoj kun relative altnivelaj produktadprocezoj, necesas preskaŭ 50 malsamaj specoj de gasoj. Gasoj estas ĝenerale dividitaj en pograndajn gasojn kajspecialaj gasoj.

Apliko de gasoj en mikroelektronikaj kaj duonkonduktaj industrioj La uzo de gasoj ĉiam ludis gravan rolon en duonkonduktaĵoj, precipe duonkonduktaĵoj estas vaste uzataj en diversaj industrioj. De ULSI, TFT-LCD ĝis la nuna mikro-elektromekanika (MEMS) industrio, duonkonduktaĵprocezoj estas uzataj kiel produktaj produktadprocezoj, inkluzive de seka akvaforto, oksigenado, jon-enplantado, maldika filmdemetado ktp.

Ekzemple, multaj homoj scias, ke blatoj estas faritaj el sablo, sed rigardante la tutan procezon de fabrikado de blatoj, necesas pli da materialoj, kiel fotorezisto, polura likvaĵo, celmaterialo, speciala gaso, ktp. Malantaŭa pakado ankaŭ postulas substratojn, intermetilojn, plumbokadrojn, ligajn materialojn, ktp. de diversaj materialoj. Elektronikaj specialaj gasoj estas la due plej granda materialo en semikonduktaĵaj produktadkostoj post siliciaj oblatoj, sekvitaj per maskoj kaj fotorezistoj.

La pureco de gaso havas decidan influon sur la rendimento de komponantoj kaj la produktokvanto, kaj la sekureco de gasa provizo rilatas al la sano de dungitaro kaj la sekureco de la fabriko. Kial la pureco de gaso havas tiel grandan efikon sur la procezlinio kaj dungitaro? Ĉi tio ne estas troigo, sed estas determinita de la danĝeraj trajtoj de la gaso mem.

Klasifiko de oftaj gasoj en la duonkondukta industrio

Ordinara Gaso

Ordinara gaso ankaŭ nomiĝas pogranda gaso: ĝi rilatas al industria gaso kun pureca postulo pli malalta ol 5N kaj granda produktado kaj venda volumo. Ĝi povas esti dividita en aera disiga gaso kaj sinteza gaso laŭ malsamaj preparmetodoj. Hidrogeno (H2), nitrogeno (N2), oksigeno (O2), argono (A2), ktp.;

Speciala Gaso

Speciala gaso rilatas al industria gaso, kiu estas uzata en specifaj kampoj kaj havas specialajn postulojn por pureco, diverseco kaj propraĵoj. ĈefeSiH4, PH3, B2H6, A8H3,HCL, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… kaj tiel plu.

Specoj de spicaj gasoj

Specoj de specialaj gasoj: korodaj, toksaj, brulemaj, brulsubtenaj, inertaj, ktp.
Ofte uzitaj semikonduktaĵgasoj estas klasifikitaj jene:
(i) Koroda/toksa:HCl、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、BCl3…
(ii) Flamebla: H2.CH4、SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO...
(iii) Brulebla: O2、Cl2、N2O、NF3...
(iv) Inerta: N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、Li...

En la procezo de fabrikado de pecetoj de duonkonduktaĵoj, proksimume 50 malsamaj specoj de specialaj gasoj (referitaj kiel specialaj gasoj) estas uzataj en oksigenado, difuzo, deponado, akvaforto, injekto, fotolitografio kaj aliaj procezoj, kaj la totalaj procezaj paŝoj superas centojn. Ekzemple, PH3 kaj AsH3 estas uzataj kiel fosforo kaj arseniko fontoj en la jon-enplantadprocezo, F-bazitaj gasoj CF4, CHF3, SF6 kaj halogengasoj CI2, BCI3, HBr estas ofte uzitaj en la akvafortprocezo, SiH4, NH3, N2O en la demetfilmprocezo, F2/Kr/Ne, Kr/Ne en la fotolitografioprocezo.

El la supraj aspektoj, ni povas kompreni, ke multaj duonkonduktaĵoj estas malutilaj al la homa korpo. Aparte, kelkaj el la gasoj, kiel ekzemple SiH4, estas mem-brulaj. Dum ili fluas, ili reagos perforte kun oksigeno en la aero kaj ekbrulis; kaj AsH3 estas tre toksa. Ajna malpeza elfluo povas kaŭzi damaĝon al la vivo de homoj, do la postuloj por la sekureco de la kontrolsistemo-dezajno por la uzo de specialaj gasoj estas aparte altaj.

Semikonduktaĵoj postulas altpurajn gasojn havi "tri gradojn"

Gaspureco

La enhavo de malpura atmosfero en la gaso estas kutime esprimita kiel procento de gasa pureco, kiel 99,9999%. Ĝenerale, la postulo de pureco por elektronikaj specialaj gasoj atingas 5N-6N, kaj ankaŭ estas esprimita per la volumena proporcio de malpura atmosfero enhavo ppm (parto por miliono), ppb (parto por miliardo), kaj ppt (parto por duiliono). La elektronika duonkondukta kampo havas la plej altajn postulojn por la pureco kaj kvalita stabileco de specialaj gasoj, kaj la pureco de elektronikaj specialaj gasoj estas ĝenerale pli granda ol 6N.

Sekeco

La enhavo de spurakvo en la gaso, aŭ malsekeco, estas kutime esprimita en rosopunkto, kiel atmosfera rosopunkto -70℃.

Pureco

La nombro da poluaj partikloj en la gaso, partikloj kun partiklograndeco de µm, estas esprimita en kiom da partikloj/M3. Por kunpremita aero, ĝi estas kutime esprimita en mg/m3 de neeviteblaj solidaj restaĵoj, kiu inkludas oleoenhavon.