Hidrogena Kloridoestas senkolora gaso kun aĉa odoro. Ĝia akva solvo estas nomata hidroklorida acido, ankaŭ konata kiel klorhidracia acido. Hidrogena klorido estas tre solvebla en akvo. Je 0 ° C, 1 volumo da akvo povas solvi ĉirkaŭ 500 volumojn da hidrogena klorido.

Ĝi havas la jenajn propraĵojn kaj karakterizaĵojn:

1. Alta pureco

La pureco de elektronika gradoHidrogena Kloridoestas tre alta, kutime ĉe PPM aŭ pli malalta nivelo, por certigi, ke neniuj malpuraĵoj estas enkondukitaj en la fabrikan procezon de duonkonduktaĵoj.

2. Inerteco

Ĝi estas kemie inerta gaso, kiu ne reagas kun multaj aliaj substancoj, kio estas tre grava por malebligi poluadon de duonkonduktaĵaj materialoj kaj ekipaĵo.

3. Alta Stabileco

Elektronika gradoHidrogena KloridoĜenerale havas stabilan kemion por certigi fidindan semikonduktaĵan prilaboron.

En semikonduktaĵa prilaborado, la ĉefaj aplikoj de elektronika grado hidrogena klorido inkluzivas:

1. Surfaca purigado kaj preparado

Kiel efika surfacpurigilo, elektronika gradoHidrogena Kloridoestas uzata por forigi oksidojn kaj malpuraĵojn de la substrata surfaco por certigi la kvaliton kaj purecon de la epitaksia tavolo aŭ filmo.

2.Eptaksa kreska helpo

Uzita kiel surfac -kurac -agento en la epitaksa procezo, ĝi helpas plibonigi la kvaliton de la epitaksa tavolo, plibonigi la punan kongruadon kaj malpliigi la formadon de lataj difektoj.

3. Substrata pretratado

Antaŭ la preparado de semikonduktaĵaj aparatoj, elektronika gradoHidrogena KloridoPovas esti uzata por trakti la substratan surfacon por formi stabilan bazon por plibonigi la adhesion inter la epitaksa tavolo kaj la substrato.

4. Deponejo Helpa Agento

En la procezo de kemia vaporo -deponejo (CVD) aŭ fizika vaporo -deponejo (PVD), elektronika grado hidrogena klorido povas esti uzata kiel gasa fazo -translokiga mezumo por partopreni la deponan reagon de duonkonduktaĵaj materialoj.

5. Gas-fazo-translokiga agento

Kiel gas-fazo-translokiga agento, aliaj gasaj pioniroj estas enkondukitaj en la reagan ĉambron por helpi ĝustigi la deponan indicon kaj unuformecon de la materialo.

Ĉi tiuj trajtoj faras elektronikan gradonHidrogena KloridoGrava pretiga agento en duonkondukta teknologio, kiu havas ŝlosilan efikon sur la agado kaj fidindeco de la fina aparato.

Krom ĝia uzo en semikonduktaĵa prilaborado, elektronika grado -hidrogena klorido povas trovi diversajn uzojn en aliaj areoj, inkluzive: preparado de materialoj de alta pureco, fuelaj ĉeloj, semikonduktaĵa materiala kresko, vapora fazo -litografio, materiala analizo, kemia esplorado.

Ĝenerale, elektronika gradoHidrogena Kloridoestas multvalora, alta pureca gaso, kiu havas ampleksan gamon de aplikoj ekster semikonduktaĵa fabrikado.