Hidrogenkloridoestas senkolora gaso kun akra odoro. Ĝia akva solvaĵo nomiĝas klorida acido, ankaŭ konata kiel klorida acido. Hidrogena klorido estas tre solvebla en akvo. Je 0°C, 1 volumo da akvo povas solvi ĉirkaŭ 500 volumojn da hidrogena klorido.

Ĝi havas la jenajn ecojn kaj karakterizaĵojn:

1. Alta pureco

La pureco de elektronika gradohidrogena kloridoestas tre alta, kutime je ppm aŭ pli malalta nivelo, por certigi, ke neniuj malpuraĵoj estas enkondukitaj en la duonkonduktaĵan fabrikadprocezon.

2. Inerteco

Ĝi estas kemie inerta gaso, kiu ne reagas kun multaj aliaj substancoj, kio estas tre grava por malhelpi poluadon de duonkonduktaĵaj materialoj kaj ekipaĵo.

3. Alta stabileco

Elektronika gradohidrogena kloridoĝenerale havas stabilan kemion por certigi fidindan semikonduktaĵan prilaboradon.

En semikonduktaĵa prilaborado, la ĉefaj aplikoj de elektronika grado hidrogena klorido inkluzivas:

1. Purigado kaj preparado de surfacoj

Kiel efika surfacpurigilo, elektronika gradohidrogena kloridoestas uzata por forigi oksidojn kaj malpuraĵojn de la substrata surfaco por certigi la kvaliton kaj purecon de la epitaksa tavolo aŭ filmo.

2. Epitaksa kreskohelpo

Uzata kiel surfactrakta agento en la epitaksia procezo, ĝi helpas plibonigi la kvaliton de la epitaksia tavolo, plibonigi la kradan kongruon kaj redukti la formadon de kraddifektoj.

3. Antaŭtraktado de substrato

Antaŭ la preparado de duonkonduktaĵaj aparatoj, elektronikaj gradojhidrogena kloridopovas esti uzata por trakti la substratan surfacon por formi stabilan bazon por plibonigi la adheron inter la epitaksa tavolo kaj la substrato.

4. Depozicia helpagento

En la procezo de kemia vapora deponado (CVD) aŭ fizika vapora deponado (PVD), elektronik-grada hidrogena klorido povas esti uzata kiel gasfaza transiga medio por partopreni en la depona reakcio de duonkonduktaĵaj materialoj.

5. Gasfaza transiga agento

Kiel gasfaza transiga agento, aliaj gasaj antaŭuloj estas enkondukitaj en la reakcian ĉambron por helpi alĝustigi la depozician rapidecon kaj homogenecon de la materialo.

Ĉi tiuj karakterizaĵoj faras elektronikan gradonhidrogena kloridograva prilabora agento en semikonduktaĵa teknologio, kiu havas ŝlosilan efikon sur la rendimenton kaj fidindecon de la fina aparato.

Aldone al sia uzo en semikonduktaĵa prilaborado, elektronik-grada hidrogena klorido povas trovi diversajn uzojn en aliaj kampoj, inkluzive de: Preparado de altpurecaj materialoj, fuelpiloj, kresko de semikonduktaĵaj materialoj, vaporfaza litografio, materiala analizo, kemia esplorado.

Ĝenerale, elektronika gradohidrogena kloridoestas multflanka, altpureca gaso kiu havas vastan gamon da aplikoj ekster semikonduktaĵa fabrikado.