Bora triklorido (BCl3)estas neorganika kombinaĵo ofte uzata en seka gravurado kaj kemia vapora deponado (CVD) en semikonduktaĵa fabrikado. Ĝi estas senkolora gaso kun forta akra odoro je ĉambra temperaturo kaj estas sentema al humida aero ĉar ĝi hidrolizas por produkti kloridan acidon kaj boratan acidon.

Aplikoj de Bora Triklorido

En la semikonduktaĵa industrio,Bora trikloridoestas ĉefe uzata por seka gravurado de aluminio kaj kiel dopanto por formi P-tipajn regionojn sur siliciaj obleoj. Ĝi ankaŭ povas esti uzata por gravuri materialojn kiel GaAs, Si, AlN, kaj kiel borfonto en certaj specifaj aplikoj. Krome, bora triklorido estas vaste uzata en metalprilaborado, vitroindustrio, kemia analizo kaj laboratoria esplorado.

Sekureco de Bora Triklorido

Bora trikloridoestas koroda kaj toksa kaj povas kaŭzi gravajn damaĝojn al la okuloj kaj haŭto. Ĝi hidrolizas en humida aero por liberigi toksan hidrogenkloridan gason. Tial, taŭgaj sekurecaj rimedoj devas esti prenitaj dum manipulado.Bora triklorido, inkluzive de portado de protekta vestaĵo, protektokulvitroj kaj spira protekta ekipaĵo, kaj laborado en bone ventolita medio.