Boron Trichloride (BCL3)estas neorganika komponaĵo ofte uzata en seka gravuraĵo kaj kemia vaporo -deponejo (CVD) procezoj en semikonduktaĵa fabrikado. Ĝi estas senkolora gaso kun forta aĉa odoro ĉe ĉambra temperaturo kaj estas sentema al humida aero ĉar ĝi hidrolizas por produkti hidrokloridan acidon kaj borikan acidon.

Aplikoj de boro -triklorido

En la duonkondukta industrio,Boro tricloridoestas uzata ĉefe por seka gravuraĵo de aluminio kaj kiel dopanto por formi P-tipajn regionojn sur siliciaj vafoj. Ĝi ankaŭ povas esti uzata por gravuri materialojn kiel GaAs, Si, ALN kaj kiel boro -fonto en iuj specifaj aplikoj. Krome, boro -triklorido estas vaste uzata en metala prilaborado, vitra industrio, kemia analizo kaj laboratoria esplorado.

Sekureco de boro -triklorido

Boro tricloridoestas koroda kaj toksa kaj povas kaŭzi gravan damaĝon al la okuloj kaj haŭto. Ĝi hidrolizas en humida aero por liberigi toksan hidrogenan kloridan gason. Tial necesas taŭgaj sekurecaj mezuroj dum uzadoBoro triclorido, inkluzive de portado de protektaj vestaĵoj, okulvitroj kaj spiraj protektaj ekipaĵoj, kaj funkciado en bone ventolita medio.