Ultra-alta pureco (UHP) gasoj estas la vivo de la duonkondukta industrio. Ĉar senprecedencaj postuloj kaj interrompoj al tutmondaj provizaj ĉenoj antaŭenpuŝas la prezon de ultra-alta prema gaso, novaj duonkonduktaĵaj projektoj kaj fabrikaj praktikoj pliigas la nivelon de poluado-kontrolo. Por fabrikantoj de duonkonduktaĵoj, povi certigi la purecon de UHP -gaso pli gravas ol iam ajn.

Ultra alta pureco (UHP) gasoj estas absolute kritikaj en moderna duonkondukta fabrikado

Unu el la ĉefaj aplikoj de UHP -gaso estas inercio: UHP -gaso estas uzata por provizi protektan atmosferon ĉirkaŭ semikonduktaĵaj komponentoj, tiel protektante ilin kontraŭ la malutilaj efikoj de humideco, oksigeno kaj aliaj poluantoj en la atmosfero. Tamen, inertigo estas nur unu el multaj diversaj funkcioj, kiujn gasoj plenumas en la duonkondukta industrio. De primaraj plasmaj gasoj ĝis reaktivaj gasoj uzataj en gravuraĵo kaj tondado, ultra-altaj premaj gasoj estas uzataj por multaj malsamaj celoj kaj estas esencaj tra la provizoĉeno de duonkonduktaĵoj.

Iuj el la "kernaj" gasoj en la duonkondukta industrio inkluzivasNitrogeno(uzata kiel ĝenerala purigado kaj inerta gaso),Argono(Uzita kiel la primara plasma gaso en akvokonduktilaj kaj deponaj reagoj),Heliumo(Uzita kiel inerta gaso kun specialaj varmotransportaj proprietoj) kajHidrogeno(ludas multoblajn rolojn en tondado, deponejo, epitaksio kaj plasma purigado).

Ĉar duonkondukta teknologio evoluis kaj ŝanĝiĝis, do havas la gasojn uzitajn en la fabrikada procezo. Hodiaŭ, semikonduktaĵaj fabrikaj plantoj uzas larĝan gamon da gasoj, de noblaj gasoj kiel ekzempleKryptonKajNeonoal reaktivaj specioj kiel nitrogen -trifluorido (NF 3) kaj tungstena hexafluorido (WF 6).

Kreskanta postulo pri pureco

Ekde la invento de la unua komerca mikroŝipo, la mondo atestis mirigan preskaŭ eksponencan kreskon de la agado de duonkonduktaĵoj. Dum la pasintaj kvin jaroj, unu el la plej certaj manieroj atingi ĉi tiun specon de plibonigo de rendimento estis per "grandeco de grandeco": redukti ŝlosilajn dimensiojn de ekzistantaj ĉifonaj arkitekturoj por elpremi pli da transistoroj en donitan spacon. Krom ĉi tio, la disvolviĝo de novaj ĉifonaj arkitekturoj kaj la uzo de plej avantaĝaj materialoj produktis saltojn en aparato-rendimento.

Hodiaŭ la kritikaj dimensioj de plej avantaĝaj semikonduktaĵoj nun estas tiel malgrandaj, ke grandeco de grandeco ne plu estas realigebla maniero plibonigi aparatan rendimenton. Anstataŭe, semikonduktaĵaj esploristoj serĉas solvojn en la formo de novaj materialoj kaj 3D -ĉifonaj arkitekturoj.

Jardekoj de senlaca redesegno signifas, ke hodiaŭaj duonkonduktaĵoj estas multe pli potencaj ol la mikroĉipoj de malnova - sed ili ankaŭ estas pli fragilaj. La apero de 300mm Wafer -fabrikado -teknologio pliigis la nivelon de malpureca kontrolo bezonata por semikonduktaĵa fabrikado. Eĉ la plej eta poluado en fabrikada procezo (precipe maloftaj aŭ inertaj gasoj) povas konduki al katastrofa ekipaĵo -fiasko - do gasa pureco nun pli gravas ol iam ajn.

Por tipa fabrikejo de duonkonduktaĵoj, ultra-alta pureca gaso jam estas la plej granda materiala elspezo post silicio mem. Ĉi tiuj kostoj nur atendas pliiĝi, ĉar postulo pri semikonduktaĵoj altiĝas al novaj altecoj. Eventoj en Eŭropo kaŭzis plian interrompon al la streĉa ultra-alta prema natura gasa merkato. Ukrainio estas unu el la plej grandaj eksportantoj de alta purecoNeonosignoj; La invado de Rusio signifas, ke provizoj de la malofta gaso estas limigitaj. Ĉi tio siavice kaŭzis malabundecon kaj pli altajn prezojn de aliaj noblaj gasoj kiel ekzempleKryptonKajXenon.