Karbontetrafluorido (CF4)

Teknikaj Parametroj

Karbontetrafluorido estas halogenita hidrokarbido kun la kemia formulo CF4. Ĝi povas esti rigardita kiel halogenigita hidrokarbido, halogenita metano, perfluorokarbono, aŭ kiel neorganika kunmetaĵo. Karbontetrafluorido estas senkolora kaj senodora gaso, nesolvebla en akvo, solvebla en benzeno kaj kloroformo. Stabila sub normala temperaturo kaj premo, evitu fortajn oksidantojn, brulemajn aŭ bruleblajn materialojn. Nebrulebla gaso, la interna premo de la ujo pliiĝos kiam eksponita al alta varmo, kaj ekzistas danĝero de krakado kaj eksplodo. Ĝi estas kemie stabila kaj nebrulema. Nur likva amoniako-natria metala reakciilo povas funkcii ĉe ĉambra temperaturo. Karbontetrafluorido estas gaso kiu kaŭzas forcejefikon. Ĝi estas tre stabila, povas resti en la atmosfero dum longa tempo, kaj estas tre potenca forceja gaso. Karbontetrafluorido estas uzata en la plasma akvaforta procezo de diversaj integraj cirkvitoj. Ĝi ankaŭ estas utiligita kiel lasergaso, kaj estas uzita en malalt-temperaturaj fridigaĵoj, solviloj, lubrikaĵoj, izolaj materialoj, kaj fridigaĵoj por infraruĝaj detektiloj. Ĝi estas la plej uzita plasma akvaforta gaso en la mikroelektronika industrio. Ĝi estas miksaĵo de tetrafluorometana altpura gaso kaj tetrafluorometana altpura gaso kaj altpura oksigeno. Ĝi povas esti vaste uzata en silicio, silicia dioksido, silicia nitruro kaj fosfosilikatvitro. La akvaforto de maldikaj filmaj materialoj kiel volframo kaj volframo ankaŭ estas vaste uzata en la surfaca purigado de elektronikaj aparatoj, sunĉela produktado, lasera teknologio, malalt-temperatura fridigo, lika inspektado kaj lesivo en produktado de presitaj cirkvitoj. Uzita kiel malalt-temperatura fridigaĵo kaj plasma seka akvaforta teknologio por integraj cirkvitoj. Antaŭzorgoj por stokado: Konservu en malvarmeta, ventolita nebrulebla gasa stokejo. Tenu for de fajro kaj varmofontoj. La konserva temperaturo ne devas superi 30 °C. Ĝi devus esti stokita aparte de facile (bruleblaj) brulaĵoj kaj oksidantoj, kaj evitu miksitan stokadon. La stokejo devas esti ekipita per elflua kriztraktada ekipaĵo.

Apliko:

① Fridigilo:

Tetrafluorometano foje estas utiligita kiel malalttemperatura fridigaĵo.

② Akvaforto:

Ĝi estas uzata en elektronika mikrofabrikado sole aŭ en kombinaĵo kun oksigeno kiel plasmogravurilo por silicio, silicia dioksido kaj silicia nitruro.

Normala pako:

Avantaĝo:

①Alta pureco, plej nova instalaĵo;

② Fabrikisto de atestilo ISO;

③Rapida livero;

④Enreta analiza sistemo por kvalito-kontrolo en ĉiu paŝo;

⑤Alta postulo kaj skrupula procezo por manipuli cilindron antaŭ plenigo;